[实用新型]基于自适应光学的激光微细加工设备

摘要

本实用新型公开一种基于自适应光学的激光微细加工设备，主要由激光器、扩束器、第一反射镜、变形镜、第二反射镜、垂直支架、x轴电机、第三反射镜、x轴平台、分光镜、第四反射镜、z轴电机、z轴平台、二维扫描振镜、扫描物镜、水平支架、y轴电机、y轴平台、第一透镜、第二透镜、波前传感器和计算机组成；本实用新型通过自适应光学技术，可以动态调地调激光加工设备的光路状态，可以有效地解决激光加工设备采用飞行光路所带来的焦点大小、焦深改变、焦点位置偏移得问题；同时，还可以利用自适应光学技术系统的产生高斯光、平顶光、超高斯光等光强分布，并利用得到的光强分布进行激光切割、激光打孔。

主权项

基于自适应光学的激光微细加工设备，其特征在于： 主要由激光器（1）、扩束器（2）、第一反射镜（3）、变形镜（4）、第二反射镜（5）、垂直支架（6）、x轴电机（7）、第三反射镜（8）、x轴平台（9）、分光镜（10）、第四反射镜（11）、z轴电机（12）、z轴平台（13）、二维扫描振镜（14）、扫描物镜（15）、水平支架（16）、y轴电机（17）、y轴平台（18）、第一透镜（19）、第二透镜（20）、波前传感器（21）和计算机组成； 第四反射镜（11）、二维扫描振镜（14）和扫描物镜（15）位于z轴平台（13）上；z轴平台（13）、分光镜（10）、第一透镜（19）、第二透镜（20）和波前传感器（21）位于x轴平台（9）上；x轴平台（9）、第三反射镜（8）、第二反射镜（5）、变形镜（4）、第一反射镜（3）、扩束器（2）和激光器（1）位于垂直支架（6）上；y轴平台（18）位于水平支架（16）上； x轴电机（7）、z轴电机（12）和y轴电机（17）与计算机相连；z轴平台（13）与z轴电机（12）相连，z轴电机（12）在计算机的控制下带动z轴平台（13）在x轴平台（9）上做上下移动；x轴平台（9）与x轴电机（7）相连，x轴电机（7）在计算机的控制下带动x轴平台（9）在垂直支架（6）上做左右移动；y轴平台（18）与y轴电机（17）相连，y轴电机（17）在计算机的控制下带动y轴平台（18）在水平支架（16）上做前后移动； 波前传感器（21）和变形镜（4）连接计算机；激光器（1）发出的光经扩束器（2）扩束后依次由第一反射镜（3）、变形镜（4）、第二反射镜（5）、第三反射镜（8）入射到分光镜（10）进行分光，一部分的光依次经第一透镜（19）和第二透镜（20）进入波前传感器（21）、由波前传感器（21）探测光束波前特性后送入计算机中，另一部分的光经第四反射镜（11）入射到二维扫描振镜（14）、由二维扫描振镜（14）反射到扫描物镜（15）并聚焦到y轴平台（18）上。