[实用新型]磷扩散炉抽风管密封水箱有效
| 申请号： | 201320026401.5 | 申请日： | 2013-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN203007493U | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 陈功 | 申请（专利权）人： | 陈功 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16;H01L21/223 |
| 代理公司： | 杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙) 33217 | 代理人： | 胡根良 |
| 地址： | 313100 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种磷扩散炉抽风管密封水箱，包括上方敞口的方形密封箱体，密封箱体上方敞口部位为向外侧张开的张口结构，所述张口结构内壁安装一圈密封圈，上方敞口上边沿外侧安装有固定扣，密封箱体底部侧面设有进水口，密封箱体正对进水口的侧面在进水口上方设有溢流排水口。由于抽风管底部开口并连接一密封水箱，在抽风管内迅速液化的三氯氧磷液体落进了密封水箱，并在密封水箱内进行中和无害化处理，最后从密封水箱的溢流口排水口排出，进入废水处理系统，从而降低了抽风系统的腐蚀速度，避免了气化的三氯氧磷的泄露和中毒事故的发生。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散 抽风 密封 水箱 | ||
【主权项】：
磷扩散炉抽风管密封水箱，其特征在于：包括上方敞口的方形密封箱体，密封箱体上方敞口部位为向外侧张开的张口结构，所述张口结构内壁安装一圈密封圈，上方敞口上边沿外侧安装有固定扣，密封箱体底部侧面设有进水口，密封箱体正对进水口的侧面在进水口上方设有溢流排水口。
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