[发明专利]一种基板清洗设备有效
| 申请号： | 201310752372.5 | 申请日： | 2013-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN103691715A | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 刘建辉;丁欣;陈甫;张亮;袁涛;刘祖宏;吴代吾;侯智 | 申请（专利权）人： | 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B11/04 | 分类号： | B08B11/04;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 230012 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基板清洗设备，包括机架、用于盛放玻璃基板的载台、安装有超声波发射器的清洗头本体、至少一个激光位移传感器、以及信号处理器；其中，载台固定于机架；清洗头本体位于载台上方，且可滑动地安装于机架；激光位移传感器安装于清洗头本体、且通过向玻璃基板表面发射激光探测射线来测量激光位移传感器与玻璃基板表面之间的距离信息；信号处理器与激光位移传感器信号连接、且用于当激光位移传感器与玻璃基板表面之间的距离信息出现异常时判断玻璃基板破损。本发明提供的基板清洗设备能够准确地检测出被测玻璃基板是否有破损，且能够避免漏检的情况出现，提高了破损玻璃基板的检出率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 设备 | ||
【主权项】：
一种基板清洗设备，其特征在于，包括机架、用于盛放玻璃基板的载台、安装有超声波发射器的清洗头本体、至少一个激光位移传感器、以及信号处理器；其中，所述载台固定于所述机架；所述清洗头本体位于所述载台上方，且可滑动地安装于所述机架；所述激光位移传感器安装于所述清洗头本体、且通过向所述玻璃基板表面发射激光探测射线来测量所述激光位移传感器与所述玻璃基板表面之间的距离信息；所述信号处理器与所述激光位移传感器信号连接、且用于当所述激光位移传感器与所述玻璃基板表面之间的距离信息出现异常时判断玻璃基板破损。
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