[发明专利]表面弹性波产生装置、收发装置及其产生方法有效
| 申请号： | 201310744431.4 | 申请日： | 2013-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN104659636B | 公开（公告）日： | 2019-04-19 |
| 发明（设计）人： | 许丰家;黄俊哲;黄俊诚 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | H01S1/00 | 分类号： | H01S1/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种表面弹性波产生装置、收发装置及其产生方法。表面弹性波产生装置包括基板。第一导电型区域，形成于基板中。第二导电型掺杂区域，包括至少一个掺杂图案，掺杂于第一导电型区域的表面，通过施加逆向偏压至第一导电型区域与第二导电型掺杂区域之间，使两区域的接面产生空乏电容，并且输入信号至第一导电型区域或第二导电型掺杂区域，以在基板上产生表面弹性波。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 弹性 产生 装置 收发 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种表面弹性波产生装置，包括：基板；第一导电型区域，形成于该基板中；以及第二导电型掺杂区域，掺杂于该第一导电型区域的表面，通过施加逆向偏压至该第一导电型区域与该第二导电型掺杂区域之间，使两区域的接面产生空乏电容，并且输入交流信号至该第一导电型区域或该第二导电型掺杂区域，以在该基板上产生表面弹性波，其中该第二导电型掺杂区域包括至少一个掺杂图案。
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