[发明专利]用于光刻设备降噪的共鸣器在审
| 申请号： | 201310742847.2 | 申请日： | 2013-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN104749898A | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 胡月;钟亮;王璟 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于光刻设备降噪的共鸣器，包括：一内腔以及与该内腔连接的管口，该管口由多层材料组成，该管口由外到内依次包括外壁、空气层、吸声层和内壁穿孔板。本发明所提供的共鸣器，能够实现共振频率可调，使之与噪声源的频率相同，从而达到有效吸声的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光刻 设备 共鸣器 | ||
【主权项】：
一种用于光刻设备降噪的共鸣器，其特征在于，包括：一内腔以及与所述内腔连接的管口，所述管口由多层材料组成，所述管口由外到内依次包括外壁、空气层、吸声层和内壁穿孔板。
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