[发明专利]一种微腔干涉流速压差敏感结构及微腔干涉光纤流速流量传感器有效
| 申请号： | 201310737286.7 | 申请日： | 2013-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN103697954A | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 代志勇 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01F1/66 | 分类号： | G01F1/66;G01P5/26 |
| 代理公司： | 成都华典专利事务所(普通合伙) 51223 | 代理人： | 徐丰;杨保刚 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微腔干涉流速压差敏感结构及微腔干涉光纤流速流量传感器；用于解决现有光纤干涉仪的干涉光路非常长，存在严重的偏振信号衰落和信号温度漂移，影响测量精度的问题。本发明的微腔干涉流速压差敏感结构包括传输光纤、壳体、设置在壳体内的光纤准直器和光分束立方；光分束立方连接有并套设在壳体上的用于感知流体静压力的第一压力敏感膜片以及用于感知流体流速压力的第二压力敏感膜片；光纤准直器将传输光纤中的光波信号准直并输出到光分束立方上，并将第一、第二压力敏感膜片反射回来产生的干涉光波信号耦合进传输光纤；光分束立方将光纤准直器输出光分成两束，并使第一、第二压力敏感膜片的反射光产生干涉形成携带有流速压差信息的干涉光波信号。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 干涉 流速 敏感 结构 光纤 流量传感器 | ||
【主权项】：
一种微腔干涉流速压差敏感结构，其特征在于，包括传输光纤（1）、壳体（3）、设置在壳体内的光纤准直器（4）和光分束立方（5）；所述光分束立方（5）连接有并套设在壳体上的用于感知流体静压力的第一压力敏感膜片（7）以及用于感知流体流速压力的第二压力敏感膜片（6）；所述光纤准直器（4）将传输光纤（1）中的光波信号准直并输出到光分束立方（5）上，并将第一、第二压力敏感膜片反射回来产生的干涉光波信号耦合进传输光纤（1）；所述光分束立方（5）将光纤准直器（4）输出光分成两束，并使第一、第二压力敏感膜片的反射光产生干涉形成携带有流速压差信息的干涉光波信号。
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