[发明专利]基板传送装置及涂布装置在审
| 申请号： | 201310726970.5 | 申请日： | 2013-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN104741289A | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 王欢 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C13/02 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种基板传送装置及涂布装置，基板传送装置包括驱动装置和传送手臂，所述传送手臂用于携带需要传送的基板，所述驱动装置驱动所述传送手臂运动至预定的位置，所述传送手臂上设有吹出气流的吹气装置。该基板传送装置及涂布装置的传送手臂上安装有吹气装置，当传送手臂携带需要涂布的基板至涂布载台时，传送手臂上的吹气装置会对涂布载台进行吹拭，从而将涂布载台上的粒子吹走，改善涂布效果。 | ||
| 搜索关键词： | 传送 装置 | ||
【主权项】：
一种基板传送装置，包括驱动装置和传送手臂，所述传送手臂用于携带需要传送的基板，所述驱动装置驱动所述传送手臂运动至预定的位置，其特征在于，所述传送手臂上设有吹出气流的吹气装置。
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