[发明专利]一种用于真空环境的高紧凑度精密直线驱动装置

摘要

本发明涉及一种用于真空环境的高紧凑度精密直线驱动装置，包括机座，其特征在于机座由下至上依次为X轴运动系统，Y轴运动系统，Z轴运动系统，Y轴运动系统的第二导轨安装板通过螺钉安装于X轴运动系统的第一导轨滑块连接板上；Z轴运动系统的L形架体的底面通过螺钉连接于Y轴运动系统的第二导轨滑块连接板上；Z轴运动系统可沿X、Y轴作直线运动；Z轴运动系统本身可沿与XY平面垂直的Z轴移动，Z轴运动系统上通过螺钉连接有离子源入射角操作系统。与采用旋转电机丝杠等直线运动系统比，没有中间传动环节，一是有利于提高真空室的洁净度；二是没有反向运动间隙，从本质提高重复定位精度。

主权项

一种用于真空环境的高紧凑度精密直线驱动装置，包括机座，其特征在于：所述机座由下至上依次为X轴运动系统(1)，Y轴运动系统(2)，Z轴运动系统(3)，Y轴运动系统(2)的第二导轨安装板(201)通过螺钉安装于X轴运动系统(1)的第一导轨滑块连接板(104)上，X轴运动系统(1)由直线电机驱动所述第一导轨滑块连接板(104)带动Y轴运动系统(2)沿X轴作直线运动；Z轴运动系统(3)的L形架体(301)的底面通过螺钉连接于Y轴运动系统(2)的第二导轨滑块连接板(204)上，Y轴运动系统(2)由直线电机驱动所述第二导轨滑块连接板(204)带动Z轴运动系统(3)沿Y轴作直线运动，Z轴运动系统(3)可在XY平面内沿X、Y轴作直线运动；Z轴运动系统(3)本身可沿与XY平面垂直的Z轴移动，Z轴运动系统(3)上通过螺钉连接有离子源入射角操作系统(4)；所述X轴运动系统(1)包括位于所述第一导轨滑块连接板(104)下方的第一导轨安装板(101)，所述第一导轨安装板(101)的左侧上方通过螺钉连接有第一回馈系统栅尺(102)，所述第一导轨滑块连接板(104)的左侧下方通过螺钉连接有第一回馈系统读数头(103)，第一回馈系统栅尺(102)右侧的第一导轨安装板(101)间隔设置有两条第一导轨(106)，所述第一导轨滑块连接板(104)通过螺钉固定有偶数个第一导轨滑块(105)，各第一导轨滑块(105)与第一导轨(106)配合形成滑配结构，两条第一导轨(106)之间设有第一直线电机，第一直线电机定子(107)通过螺钉连接第一导轨安装板(101)上，第一直线电机动子(108)通过螺钉连接在第一导轨滑块连接板(104)上，X轴运动系统(1)的运动通过第一直线电机动子(108)带动第一导轨滑块连接板(104)、第一导轨滑块(105)沿第一导轨(106)运动。