[发明专利]用于定量气体配置的双真空计体积测量装置及方法有效

专利信息
申请号: 201310722638.1 申请日: 2013-12-24
公开(公告)号: CN103759785B 公开(公告)日: 2017-01-04
发明(设计)人: 张瑞芳;张伟文;成永军;习振华;张涤新;盛学民;魏万印;管保国 申请(专利权)人: 兰州空间技术物理研究所
主分类号: G01F17/00 分类号: G01F17/00
代理公司: 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙)11435 代理人: 孟阿妮
地址: 730013 甘*** 国省代码: 73
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摘要: 发明提供一种用于定量气体配置的双真空计体积测量装置及方法,其中,装置包括通过隔断阀连接的变量室和参考室,所述变量室和所述参考室之间连接有第一压力计,所述参考室通过第一管路连接限流孔,所述限流孔通过第一阀门连接校准室;所述第一管路上连接有第二压力计,还通过第二阀门连接第一定量体积室、通过第三阀门连接第二定量体积室;所述变量室通过第四阀门连接第二管路;所述第二管路通过第五阀门连接外接容器、通过第六阀门连接供气系统、通过第七阀门连接抽气系统。上诉方案,在体积测量过程中无需拆卸,因此测量准确性高,且所需气量小。
搜索关键词: 用于 定量 气体 配置 真空计 体积 测量 装置 方法
【主权项】:
一种用于定量气体配置的双真空计体积测量装置,其特征在于,包括通过隔断阀连接的变量室和参考室,所述变量室和所述参考室之间连接有第一压力计,所述参考室通过第一管路连接限流孔,所述限流孔通过第一阀门连接校准室;所述第一管路上连接有第二压力计,还通过第二阀门连接第一定量体积室、通过第三阀门连接第二定量体积室;所述变量室通过第四阀门连接第二管路;所述第二管路通过第五阀门连接外接容器、通过第六阀门连接供气系统、通过第七阀门连接抽气系统,所述外接容器内设置有标准体积件。
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