[发明专利]流体动压半接触固结磨料抛光装置

摘要

本发明公开了一种流体动压半接触固结磨料抛光装置，包括由抛光头和粘接在抛光头上的抛光垫组成的抛光盘、工件装卡工作台以及冷却液供给系统，所述抛光盘为中间带孔的环形结构，冷却液由抛光盘的中心孔注入抛光垫与工件的间隙中而后从抛光垫周围自然排出。本发明提出的半接触状态固结磨料抛光装置能够在不更换抛光垫的条件下通过改变加工参数来控制间隙液膜的动压力和膜厚，从而控制固结磨粒的切深，实现待加工件由粗抛光到精抛光的整套加工过程。该发明具有工艺简单、加工成本低、效率高的优点，能够满足实际工程中大批量精密加工的使用需要。

主权项

一种流体动压半接触固结磨料抛光装置，包括由抛光头和粘接在抛光头上的抛光垫组成的抛光盘、工件装卡工作台以及冷却液供给系统，其特征在于，所述抛光盘为中间带孔的环形结构，冷却液由抛光盘的中心孔注入抛光垫与工件的间隙中而后从抛光垫周围自然排出；冷却液供给系统设有压力控制泵，冷却液供给系统设有过滤装置，通过控制抛光头自转速度和冷却液入口压强来控制液膜的动压力和膜厚。