[发明专利]一种高灵敏度推挽桥式磁传感器

摘要

发明公开了一种高灵敏度推挽桥式磁传感器，该传感器包括两个基片、磁电阻传感元件、推臂通量集中器以及挽臂通量集中器。同一基片上磁电阻传感元件的钉扎层的磁化方向相同，但与相邻基片上的磁电阻传感元件的钉扎层的磁化方向相反，其中一个基片上的磁电阻传感元件相互电连接构成电桥的推臂，另一个基片上的磁电阻传感元件相互电连接构成电桥的挽臂。推、挽臂上磁电阻传感元件分别成列排布于相邻两个推臂通量集中器和相邻两个挽臂通量集中器之间的间隙处。此传感器可在准桥、半桥、全桥这三种电桥结构上得到实现。该传感器具有以下优点：偏移小、灵敏度高、线性度好、噪声小等。

主权项

一种推挽桥式磁传感器，其特征在于：该传感器包括位于XY平面内的推臂基片和挽臂基片；至少一个由一个或多个磁电阻传感元件电连接构成的推臂和至少一个由一个或多个磁电阻传感元件电连接构成的挽臂；至少两个推臂通量集中器和至少两个挽臂通量集中器；所述推臂通量集中器和所述挽臂通量集中器的长轴方向均为Y轴方向，短轴方向均为X轴方向；所述推臂上的磁电阻传感元件位于两个相邻推臂通量集中器之间的间隙处，所述挽臂上的磁电阻传感元件位于两个相邻挽臂通量集中器之间的间隙处；所述推臂和所述推臂通量集中器沉积在所述推臂基片上，所述挽臂和所述挽臂通量集中器沉积在所述挽臂基片上；所述推臂和所述挽臂相互电连接以形成电桥；所述推臂基片上的磁电阻传感元件的磁性钉扎层的磁化方向相同，所述挽臂基片上的磁电阻传感元件的磁性钉扎层的磁化方向相同；所述推臂基片与所述挽臂基片上的磁电阻传感元件的磁性钉扎层的磁化方向相反；所述推臂和所述挽臂上的磁电阻传感元件的敏感方向均为X轴方向。