[发明专利]一种真空室气压调节器在审
| 申请号： | 201310696152.5 | 申请日： | 2013-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN104714567A | 公开（公告）日： | 2015-06-17 |
| 发明（设计）人： | 李海洋;齐国臣;赵无垛;侯可勇;李金旭;窦健;蒋蕾;王祯鑫 | 申请（专利权）人： | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 主分类号： | G05D16/20 | 分类号： | G05D16/20 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 马驰 |
| 地址： | 116023 *** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空室气压调节器，具体的说是一种可以用于调控质谱仪真空室内气压的进样装置，该装置包括真空室、毛细管A、毛细管B、密封帽及密封垫、真空阀、分流腔体和真空泵；本发明的特点是通过调节真空阀,可以调控进入真空室的气体量，从而使真空室内气压可调，可以有效根据质谱仪工作需求调节质谱仪的进气量，同时可以有效减少更换毛细管过程中带来的拆卸质谱的麻烦。此外，可以通过调节真空阀使毛细管A的工作气压范围在0.1～3MPa。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 气压 调节器 | ||
【主权项】：
一种真空室气压调节器，其特征在于：包括真空室（1）、真空调节阀（5）、真空泵（6）、分流腔体（7）；所述分流腔体（7）为中空的腔体，腔体上设置有三个通孔，其中第一通孔通过管道一与外界空接，第二通孔通过管道二与真空室（1）密封相连，第三通孔通过管道三与真空泵（6）密封相连；所述真空调节阀（5）设置在真空泵（6）和分流腔体（7）之间的管道三上。
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