[发明专利]一种用于电子级六氟化硫生产的精馏装置及精馏工艺

摘要

本发明涉及一种用于电子级六氟化硫生产的精馏装置及精馏工艺，其通过将六氟化硫粗制气体经加压后送入预冷器，在高压及低温状态下由气态转化为液态，之后在第一精馏塔和第一冷凝器内气化、冷凝、回流以去除高沸物，然后再通过第二精馏塔和第二冷凝器的气化、冷凝和回流将六氟化硫气体冷凝成液态进行收集，而低沸物则保持气态从第二冷凝器逸出。本发明所提供的精馏装置及精馏工艺，能有效去除六氟化硫粗制气体中的高沸物和低沸物杂质成分，尤其是在精馏工序所要求的高压低温状态下沸点与六氟化硫十分接近的六氟乙烷和八氟丙烷杂质气体，所制得的六氟化硫完全满足电子级六氟化硫的技术要求，且设备成本低，生产工艺简单。

主权项

一种用于电子级六氟化硫生产的精馏装置，其特征在于：包括预冷器、第一精馏塔、第一冷凝器、第二精馏塔和第二冷凝器；所述预冷器的进口端用于接入加压后的六氟化硫粗制气体，所述预冷器的出口端通过第一管路与第一精馏塔的中部相连通；所述第一精馏塔的顶部通过第二管路与第一冷凝器的进口端相连通；所述第一冷凝器的出口端连接有第三管路和第四管路，所述第一冷凝器的出口端通过第三管路与第一精馏塔的中部相连通，第一精馏塔、第二管路、第一冷凝器和第三管路之间形成第一回流通路，所述第一冷凝器的出口端通过第四管路与第二精馏塔的中部相连通；所述第二精馏塔的顶部通过第五管路与第二冷凝器的进口端相连通；所述第二冷凝器的出口端连接有第六管路和第七管路，所述第二冷凝器的出口端通过第六管路与第二精馏塔的中部相连通，第二精馏塔、第五管路、第二冷凝器和第六管路之间形成第二回流通路，所述第二冷凝器的出口端通过第七管路排出尾气。