[发明专利]紫外LED曝光头在审
| 申请号： | 201310688320.6 | 申请日： | 2013-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN104749889A | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 尹韶云; 孙秀辉; 杜春雷; 吴鹏; 杨正; 史浩飞 | 申请（专利权）人： | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 成都赛恩斯知识产权代理事务所(普通合伙)51212 | 代理人： | 朱月仙 |
| 地址： | 400714重*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供了一种紫外LED曝光头。紫外LED曝光头，包括：依次设置的紫外LED光源模组、蝇眼透镜匀化系统、准直场镜系统和目标面，紫外LED光源模组发出的紫外光经过蝇眼透镜匀化系统的积分匀化后，经过准直场镜系统的准直处理后平行于光轴射出并在目标面上形成均匀光强的分布。本发明采用多个紫外LED构成的紫外LED光源模组作为光源，并采用蝇眼透镜匀化系统和准直场镜系统解决了紫外LED光源模组发散角大的问题。由于LED具有效率高、寿命长的特点，因而，解决了现有技术中汞灯曝光机存在的能耗高、易损坏、不安全等问题，具有结构简单、成本低的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外 led 曝光 | ||
【主权项】：
暂无信息
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