[发明专利]一种电学阵列检测设备有效
| 申请号： | 201310688061.7 | 申请日： | 2013-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN103698630A | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 陈俊;魏振;郭世波;陈庆友;付修行;孙纬伟;周登成 | 申请（专利权）人： | 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 230012 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种电学阵列检测设备，包括：机台，机台包括：支撑待测基板的可升降台和固定台，固定台位于可升降台的上方，升降台可带动待测基板向固定台移动一定距离；位于机台上方、用于固定探针框架的安装架，安装架与机台相对设置、且安装架可沿机台的可升降台的升降方向移动；至少一个设置于机台的固定台和探针框架之间、用于支撑探针框架和调节固定台与探针框架之间距离的伸缩机构。本发明提供的电学阵列检测设备，通过在固定台和探针框架之间设置伸缩机构，使得每次更换探针框架后，调整探针框架和固定台之间的间隙变的自动化些，减少了调整的时间，提高了电学阵列检测设备的工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电学 阵列 检测 设备 | ||
【主权项】：
一种电学阵列检测设备，其特征在于，包括：机台，所述机台包括：支撑待测基板的可升降台和固定台，所述固定台位于所述可升降台的上方，所述升降台可带动所述待测基板向所述固定台移动一定距离；位于所述机台上方、用于固定探针框架的安装架，所述安装架与所述机台相对设置、且所述安装架可沿所述机台的可升降台的升降方向移动；至少一个设置于所述机台的固定台和所述探针框架之间、用于支撑所述探针框架和调节所述固定台与所述探针框架之间距离的伸缩机构。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司，未经合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310688061.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
