[发明专利]一种基于真空紫外灯与放电电离的复合电离源无效
申请号: | 201310687547.9 | 申请日: | 2013-12-13 |
公开(公告)号: | CN104716007A | 公开(公告)日: | 2015-06-17 |
发明(设计)人: | 李海洋;赵无垛;王卫国;窦健;谢园园;蒋蕾;苏明扬 | 申请(专利权)人: | 中国科学院大连化学物理研究所 |
主分类号: | H01J49/10 | 分类号: | H01J49/10 |
代理公司: | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人: | 刘阳 |
地址: | 116023 *** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明提供了一种基于真空紫外灯与放电电离的复合电离源,具体的来讲是将放电电离产生的等离子体通过毛细管导入到紫外灯正下方,在紫外灯照射下,将样品分子电离。该装置包括毛细管、放电腔、紫外灯、离子传输区、腔体和离子质量分析器。其优点是通过毛细管将放电电离产生的等离子体导入到电离区,形成的亚稳态原子及离子可以将位于电离区的样品分子电离。同时通过控制毛细管的长度控制放电区气压,具有电离效率高和能耗小的特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 真空 紫外 放电 电离 复合 | ||
【主权项】:
一种基于真空紫外灯与放电电离的复合电离源,其特征在于:包括毛细管A(1)、放电腔体(2)、毛细管B(3)、腔体(4)、紫外灯(6)、离子质量分析器(7)、电极头(8)和法兰(9);所述的放电腔体(2)为中空的箱体,放电腔体(2)上设置有两个孔,毛细管A(1)和毛细管B(3)分别通过所述的两个孔深入到放电腔体(2)的内部;毛细管A(1)另一端与外界气体相连;毛细管B(3)另一端与腔体(4)相连接;所述放电腔体(2)壁上设置有两个电极头(8)用于施加高压;所述腔体(4)正上方设置有法兰(9),腔体(4)与法兰(9)通过密封圈密封;法兰(9)上面设置有小孔,孔的正上方设置有光窗;紫外灯(6)发出的紫外光通过小孔入射到腔体(4)中;所述腔体(4)的壁上设置有真空泵。
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