[发明专利]一种多晶硅铸锭加热方法及应用该方法的多晶硅铸锭炉有效
| 申请号： | 201310681393.2 | 申请日： | 2013-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN103614772A | 公开（公告）日： | 2014-03-05 |
| 发明（设计）人： | 高冬松 | 申请（专利权）人： | 光为绿色新能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人： | 刘洪勋 |
| 地址： | 074000 河北省保定市高*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种多晶硅铸锭方法，包括加热、熔化、长晶、退火和冷却五个阶段，在加热和熔化阶段采用磁感应线圈的电磁感应方式对硅锭进行加热，在长晶阶段关闭磁感应线圈；还提供了应用上述方法多晶硅铸锭炉，包括坩埚、第一加热器和冷却板，所述第一加热器设置于坩埚正上方，冷却板设置于坩埚下方；其特征在于，还包括设置于坩埚四周的铸锭炉侧壁上的第二加热器和设置于坩埚四周的铸锭炉侧壁上的磁感应线圈，所述磁感应线圈绕过坩埚，其形成的磁感线垂直穿过坩埚底面。本发明能够缩短工艺时长，有效提高产品铸锭的电阻率稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 铸锭 加热 方法 应用 | ||
【主权项】：
一种多晶硅铸锭方法，包括加热、熔化、长晶、退火和冷却五个阶段，其特征在于，在加热和熔化阶段采用磁感应线圈的电磁感应方式对硅锭进行加热，在长晶阶段关闭磁感应线圈。
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