[发明专利]一种水性光刻胶剥离液有效
| 申请号： | 201310677506.1 | 申请日： | 2013-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN103676504A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 戈士勇 | 申请（专利权）人： | 江阴润玛电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 江阴大田知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 | 代理人： | 杜兴 |
| 地址： | 214423 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种水性光刻胶剥离液，水性光刻胶剥离液由醇醚、二元醇、水溶性有机溶剂、季铵类氢氧化物、表面活性剂和纯水按一定比例混合而成。该剥离液剥离速度适中，1000倍显微镜下，剥离后的晶圆表面无光刻胶残留；10000倍显微镜下，对铝和铜金属层几乎没有腐蚀；与现有技术中有机剥离液使用温度在60℃~90℃以上相比，该剥离液在25~45℃使用温度下剥离速率快，使用能耗低；使用成本低，寿命长，环保。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 水性 光刻 剥离 | ||
【主权项】：
一种水性光刻胶剥离液，其特征在于，所述水性光刻胶剥离液由下列组分组成，所述组分的重量百分比为：醇醚 30~40%；二元醇 10~20%；水溶性有机溶剂 15~30%；季铵类氢氧化物 0.1~1%；表面活性剂 0.05~0.1%；其余为纯水。
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