[发明专利]一种多电极组合式集成气体传感器

摘要

种多电极组合式集成气体传感器，属于传感器技术领域。其包括：绝缘基底、形成于基底上的加热器及加热器电极、形成于基底上以一定规则分布的N个敏感电极、形成于基底上的传感薄膜。不同敏感电极相互不接触，敏感电极与加热器不接触。传感薄膜包含传感微粒，并且覆盖全部敏感电极表面。该传感器特征是，N大于2，从N个敏感电极中，每次选择两个作为传感器单元输出，共有N(N-1)/2种组合，构成了含有N(N-1)/2个传感器单元的传感器阵列。本发明的效果和益处是，相比于含有相同数量传感器单元的现有技术，本发明减小了传感器阵列体积、减少了电极的数量，即利用有限数量电极形成更多地传感器单元。

主权项

一种多电极组合式集成气体传感器，包括：绝缘基底、形成于绝缘基底上的加热器及加热器电极、形成于绝缘基底上并以一定规则分布的N个敏感电极、形成于绝缘基底上的传感薄膜；其特征是N大于2，在N个敏感电极中，每次选择两个敏感电极作为传感器单元的信号输出，共有N(N‑1)/2种选择，构成了含有N(N‑1)/2个传感器单元的传感器阵列。