[发明专利]一种紫外光固化纳米压印聚合物模板的制备方法有效
申请号: | 201310655957.5 | 申请日: | 2013-12-08 |
公开(公告)号: | CN103631089A | 公开(公告)日: | 2014-03-12 |
发明(设计)人: | 邓启凌;张满;史立芳;胡松;曹阿秀;秦燕云;李志炜 | 申请(专利权)人: | 中国科学院光电技术研究所 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00 |
代理公司: | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人: | 杨学明;孟卜娟 |
地址: | 610209 *** | 国省代码: | 四川;51 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 发明涉及一种紫外光固化纳米压印聚合物模板的制备方法,包括如下步骤:1)对表面含有浮雕纳米结构的纳米压印模板进行表面防粘处理;2)对一块刚性基片进行偶联处理;3)在步骤2)中经过偶联处理的刚性基片上涂覆一层巯基-烯材料;4)将步骤1)中经过防粘处理的纳米压印模板和步骤3)中的表面涂覆巯基-烯材料的刚性基片放置在纳米压印机中进行对准压印;5)利用紫外光将巯基-烯材料固化成型;6)纳米压印模板脱模后,对巯基-烯材料结构层进行表面防粘处理,制备获得纳米压印聚合物模板。本发明的显著特点是制备过程无需刻蚀和高真空条件,大大简化了制备工艺,降低了制作成本,促进了纳米压印聚合物模板在纳米结构制备领域的广泛应用。 | ||
搜索关键词: | 一种 紫外 光固化 纳米 压印 聚合物 模板 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种紫外光固化纳米压印聚合物模板的制备方法,其特征在于包括以下步骤:(1)获取一块纳米压印模板,并对其进行表面防粘处理;(2)配制杨氏模量大于50MPa的巯基‑烯材料;(3)取一块表面干净的刚性基片,并对其表面进行偶联处理,增加基片表面与巯基‑烯材料的粘附力;(4)在步骤(3)中的刚性基片上涂覆一层步骤(2)中配制的巯基‑烯材料;(5)将步骤(1)中的纳米压印模板和步骤(4)中的刚性基片一起放入纳米压印机中进行对准压印,使巯基‑烯材料层与纳米压印模板中的结构面紧密贴合,之后放在紫外光下进行固化;(6)在巯基‑烯材料固化成型后,将含有巯基‑烯材料结构层的刚性基片从纳米压印模板上剥离下来,获得由刚性基底和巯基‑烯材料结构层组成的复合纳米结构;(7)将步骤(6)中的复合纳米结构进行表面防粘处理,制备完成纳米压印聚合物模板。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院光电技术研究所,未经中国科学院光电技术研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201310655957.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:可调整式液压缓冲器
- 下一篇:提供在异构计算环境下访问主机数据对象