[发明专利]一种用于静电诱导技术的超精密平行度调整与检测系统

摘要

一种用于静电场诱导技术的超精密平行度调整与检测系统属于超精密加工和检测领域，该系统包括：基片间距及平行度检测与调整机构和基片固定制动装置，通过对基片固定制动装置上升、下降及偏转的控制实现超精密平行度调整与检测。该系统通过基片间距及平行度检测与调整机构实时检测上、下基片之间的间距和平行度，并与外部输入条件进行比较、矩阵处理，产生控制信号，控制下基片的上、下移动或偏转，从而实现对上、下基片的间距和平行度的精确控制，从而实现了对静电场诱导过程中关键参数的精确控制。

主权项

一种用于静电场诱导技术的超精密平行度调整与检测系统，其特征在于：该系统包括：基片间距及平行度检测与调整机构和基片固定制动装置；所述基片间距及平行度检测与调整机构包括至少一个距离传感器、距离传感器前置放大器及A/D转换器、模块化压电陶瓷数字控制器和压电陶瓷；所述根据反馈的距离传感器信号经过距离传感器前置放大器及A/D转换器和模块化压电陶瓷数字控制器控制压电陶瓷的位移量，从而实现对基片固定制动装置上升、下降及偏转的控制。