[发明专利]一种基于微间隙极化结构构造放电电场的电离式传感器

摘要

本发明公开了一种基于微间隙极化结构构造放电电场的电离式气体传感器，包括：外接电路电极对、极化结构和大长径比材料，极化结构设置于外接电路电极对之间的区域，大长径比材料至少设置于极化结构和外接电路电极对中的一个部件上。本发明所述传感器在工作时，仅需要在外接电路电极上加载较低的电压，就能够通过极化结构的极化作用，在极化结构和外接电路电极之间产生足以电离目标气体分子的电场，从而有效降低传感器工作电压。与既有技术中外接电路电极对之间的微小间隙结构相比，可以有效防止灰尘、纤维等污染物掉落在微小间隙中所造成的不稳定和失效问题，同时能够提高信噪比和敏感度。

主权项

一种基于微间隙极化结构构造放电电场的电离式传感器，其特征在于，包括：第一外接电路电极、第二外接电路电极、极化结构、大长径比材料和基底，其中，所述极化结构由导体构成；所述极化结构设置于所述第一外接电路电极和所述第二外接电路电极之间；所述第一外接电路电极与所述极化结构之间存在气体间隙，所述第二外接电路电极与所述极化结构之间存在气体间隙；所述大长径比材料至少设置于所述第一外接电路电极、所述第二外接电路电极和所述极化结构三个部件中的一个部件的部分表面或者全部表面，所述第一外接电路电极、所述第二外接电路电极和所述极化结构设置于所述基底上。