[发明专利]APM皮带速度实时监控装置及方法在审
申请号: | 201310641632.1 | 申请日: | 2013-12-03 |
公开(公告)号: | CN104678121A | 公开(公告)日: | 2015-06-03 |
发明(设计)人: | 周俊;严玮;程望阳 | 申请(专利权)人: | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
主分类号: | G01P3/36 | 分类号: | G01P3/36 |
代理公司: | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人: | 丁纪铁 |
地址: | 201203 上海市浦东*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种APM皮带速度实时监控装置,该装置主要包括金属滚轮,安装在皮带下方,并和皮带直接接触,接触面长度在两厘米以上。本发明还公开了基于上述装置实时监控APM皮带速度的方法。本发明通过在皮带下方加装滚轮,与皮带形成反向同步运动系统,利用滚轮的转速,监控皮带的速度,避免了多重转换和以小带大的问题,实现了APM皮带速度的实时、有效监控。 | ||
搜索关键词: | apm 皮带 速度 实时 监控 装置 方法 | ||
【主权项】:
APM皮带速度实时监控装置,其特征在于,包括金属滚轮,安装在皮带下方,并和皮带直接接触,接触面长度在2厘米以上。
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