[发明专利]静压流体引导装置有效
申请号: | 201310641557.9 | 申请日: | 2013-12-03 |
公开(公告)号: | CN103867570B | 公开(公告)日: | 2018-01-05 |
发明(设计)人: | 大和宏树;安藤善昭;竹岛雅之 | 申请(专利权)人: | 株式会社捷太格特 |
主分类号: | F16C32/06 | 分类号: | F16C32/06 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 李洋,苏琳琳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种静压流体引导装置(50),设置有减震机构(54),在减震机构(54)中不加压供给流体,而通过自然落下产生的静压进行供给。由此能够抑制静压流体引导机构(53a)内的流体压的下降,能使可动体(52a)直线移动时的相对载荷支承的刚性大致为设计值,并能高精度地对可动体(52a)进行定位。 | ||
搜索关键词: | 静压 流体 引导 装置 | ||
【主权项】:
一种静压流体引导装置,其特征在于,具备:可动体;支承体,其将所述可动体支承为能够直线移动;静压流体引导机构,其设置于所述可动体,引导所述可动体的直线移动;减震机构,其设置于所述可动体,使所述可动体上产生的振动衰减,向所述减震机构供给的流体的压力为通过自然落下产生的静压。
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