[发明专利]运动台反力抵消装置在审
| 申请号： | 201310612812.7 | 申请日： | 2013-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN104678711A | 公开（公告）日： | 2015-06-03 |
| 发明（设计）人： | 李莉;杨辅强;朱岳彬 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;F16F15/04;F16F15/08 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种运动台反力抵消装置，包括：主动阻尼元件、速度测量元件、弹性元件、解耦机构以及线性导轨；所述线性导轨安装在电机定子下；所述主动阻尼元件的一侧与所述电机定子连接，另一侧与反力支撑架连接；所述弹性元件的一侧与所述电机定子相连，另一侧与所述解耦机构连接；所述解耦机构的另一端与光刻机的反力支撑架相连；所述速度测量元件设置于所述电机定子上。本发明采用主动阻尼元件来提供阻尼完成反力抵消，采用速度测量元件实时监控电机定子的速度，实时控制主动阻尼元件施加的主动阻尼力的大小。结构简单，而且可以根据电机定子的运动情况实时改变阻尼力的大小，保证在有效的缓冲行程内有效衰减直线电机定子动能。 | ||
| 搜索关键词： | 运动 台反力 抵消 装置 | ||
【主权项】：
一种运动台反力抵消装置，安装在地基与运动台之间，包括：主动阻尼元件、速度测量元件、弹性元件、解耦机构以及线性导轨；其中，所述线性导轨安装在运动台的电机定子下；所述主动阻尼元件的一侧与所述电机定子连接，所述主动阻尼元件的另一侧与反力支撑架连接；所述弹性元件的一侧与所述电机定子相连，所述弹性元件的另一侧与所述解耦机构连接；所述解耦机构的另一端与光刻机的反力支撑架相连；所述速度测量元件设置于所述电机定子上，用于测量电机定子的速度。
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