[发明专利]一种基板平面度检测装置

摘要

一种基板平面度检测装置，包括：Li-CCD激光位移传感器、模拟量采集模块、可编程控制器、条码扫描传感器，以太网通信模块、基板输送机构、待测试基板、输送机马达；所述的待测试基板置于基板输送机构上面，待测试基板上方分别设有Li-CCD激光位移传感器和条码扫描传感器，模拟量采集模块的输入端与Li-CCD激光位移传感器相连，其输出端与可编程控制器的输入端相连，所述的可编程控制器的另一输入端与条码扫描传感器相连，其输出端与输送机马达连接，所述的输送机马达还与基板输送机构相连，所述的可编程控制器还与以太网通信模块相连。在基板焊膏印刷前检测基板平面度，为以后工序提供保障。

主权项

一种基板平面度检测装置，其特征在于包括：Li‑CCD激光位移传感器、模拟量采集模块、可编程控制器、条码扫描传感器，以太网通信模块、基板输送机构（1）、待测试基板（3）、输送机马达（2）；所述的待测试基板（3）置于基板输送机构（1）上面，待测试基板（3）上方分别设有Li‑CCD激光位移传感器和条码扫描传感器，模拟量采集模块的输入端与Li‑CCD激光位移传感器相连，其输出端与可编程控制器的输入端相连，所述的可编程控制器的另一输入端与条码扫描传感器相连，其输出端与输送机马达（2）连接，所述的输送机马达（2）还与基板输送机构（1）相连，所述的可编程控制器还与以太网通信模块相连。