[发明专利]激光材料移除方法和设备

摘要

本发明的实施例一般提供在太阳能电池制造中利用激光的材料移除方法与设备。在一个实施例中，提供的设备准确地依照所欲图案移除沉积于太阳能电池基材上的介电层的部分并沉积导电层于图案化的介电层上。在一个实施例中，设备还依所欲图案移除导电层的部分。在某些实施例中，提供通过激光移除材料的部分且不伤害下方基材的方法。在一个实施例中，光束的强度分布是经调整以致形成于基材表面上的光斑中的最大强度与最小强度之间的差异被降低至理想范围。在一个实例中，基材是经定位以致降低基材中心处相对周边的尖峰强度。在一个实施例中，改善脉冲能量以提供介电层的所欲部分的热应力与物理剥离。

主权项

一种使用激光的材料移除方法，所述方法包括：移除置于基材的表面上的材料层的一部分，该移除通过将来自激光的脉冲能量传送至该材料层的表面上而达成，其中该脉冲能量以低于预定的所述基材的激光烧蚀阀值照射该材料层的表面的一部分。