[发明专利]金刚石线超声波清洗装置无效
| 申请号： | 201310586113.X | 申请日： | 2013-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN103611705A | 公开（公告）日： | 2014-03-05 |
| 发明（设计）人： | 陈宏;徐虎 | 申请（专利权）人： | 张家港市超声电气有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12 |
| 代理公司： | 北京世誉鑫诚专利代理事务所(普通合伙) 11368 | 代理人： | 孙国栋 |
| 地址： | 215618 江苏省苏州市张家港市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种金刚石线超声波清洗装置，包括清洗槽和超声波装置，超声波装置包括超声波发生器、超声波换能器和至少一个超声波振动板，超声波振动板设置在清洗槽内，清洗槽的中部开设有金刚石线的进口和出口，清洗槽的进口处设有金刚石线放卷装置，清洗槽的出口处设有金刚石线的收卷装置，所述的清洗槽上设有清洗液补充装置。本发明的金刚石线超声波清洗装置，结构简单，构思新颖，可实现金刚石线的连续化超声清洗，效率高，效果好，更可实现金刚石线的在线清洗，在切割硅片后立即进行清洗，此时清洗残余硅颗粒也更容易被去除，以便于金刚石线的后续利用，提高金刚石线的利用率，降低金刚石线的使用成本，便于金刚石线切割的推广。 | ||
| 搜索关键词： | 金刚石 超声波 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种金刚石线超声波清洗装置，其特征是：包括清洗槽和超声波装置，所述的超声波装置包括超声波发生器、超声波换能器和至少一个超声波振动板，所述的超声波振动板设置在清洗槽内，所述的清洗槽的中部开设有金刚石线的进口和出口，所述的清洗槽上设有清洗液补充装置。
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