[发明专利]气密玻璃密封传感器

摘要

本文所公开的技术包括用于包含有车用流体的流体压力测量的系统及方法。压力传感器包括用于压力测量的微机电系统(MEMS)传感器。MEMS传感器被附连到玻璃管，其被压缩地密封到可附连到包含有流体的箱的压力端口的安装框架上。本文所公开的技术在管子与安装框架之间提供气密密封件，以及在MEMS传感器和压力传感器之间提供刚性密封件，同时使来自于MEMS传感器的热膨胀应力解耦。利用这种解耦技术，可改进压力感测的可靠性和准确性，这是因为热膨胀应力被从MEMS传感器解耦。这种技术提供了一种精确、耐用且成本高效的压力传感器。

主权项

1.一种压力传感器装置，所述压力传感器装置能附连到包含有流体的箱的压力端口以用于测量流体压力，所述压力传感器装置包括：压力端口安装框架，所述压力端口安装框架包括：侧壁部，所述侧壁部具有面对包含有流体的箱的内侧以及背离包含有流体的箱的外侧；和环形凸缘，所述环形凸缘从侧壁部下垂，其中，所述侧壁部限定第一凸缘和第二凸缘，所述第一凸缘和第二凸缘从环形凸缘径向向内延伸，使得环形凸缘、第一凸缘和第二凸缘限定中心开口，所述中心开口具有位于第一凸缘和第二凸缘之间的较窄直径段和位于环形凸缘内的较大直径段，所述中心开口从所述内侧延伸到所述外侧；管子，所述管子耦联在所述中心开口的较大直径段中并且抵靠第一凸缘和第二凸缘，所述管子限定完全穿过管子延伸的流体管路，所述管子定位成使得能够从压力端口安装框架的外侧接近流体管路和管子的供流体管路穿出的表面区域；微机电系统传感器，所述微机电系统传感器在管子的表面区域至少部分地定位在所述中心开口的较窄直径段内并且以其全部底部表面密封到管子，以使得当流体管路填充有来自于包含有流体的箱的流体时，流体挤压微机电系统传感器；以及气密密封件，所述气密密封件通过将管子压缩地密封到环形凸缘内使得所述管子抵靠压力端口安装框架的第一凸缘和第二凸缘的内侧的一部分而形成，从而流体压力不能迫使所述管子穿过中心开口，其中，所述气密密封件在所述压力传感器装置的操作温度范围中保持压缩。