[发明专利]一种在4Cr13不锈钢游标卡尺表面沉积氮化钛薄膜的工艺

摘要

发明公开了一种在4Cr13不锈钢游标卡尺表面沉积氮化钛薄膜的工艺，它是对4Cr13不锈钢游标卡尺表面进行物理和化学清洗；其次利用电弧离子镀或离子溅射镀或射频溅射镀技术，在4Cr13马氏体不锈钢游标卡尺表面沉积0.1～0.5μm的纯金属或合金作为过渡层，该过渡层可以是纯钛或纯镍或纯铜或纯钼或纯铬等，合金可以是铁碳合金或钨钼合金或镍铬合金等；第三再通入一定比例的反应气体氮气和氩气，沉积厚度为0.5～1μm氮化钛硬质薄膜层。本发明的在游标卡尺等工具表面沉积的氮化钛薄膜具有高强度、高硬度、耐腐蚀、抗磨损以及良好的视觉效果。

主权项

一种在4Cr13不锈钢游标卡尺表面沉积氮化钛薄膜的工艺，其特征是：包括如下步骤：（1）将4Cr13不锈钢游标卡尺放入丙酮溶液进行超声波清洗10～30分钟，然后用无水酒精进行超声波清洗10～30分钟，最后用吹风机吹干；（2）将表面经过清洁的4Cr13不锈钢游标卡尺，放入离子镀沉积设备中，抽真空到1×10‑3 ～2×10‑4 Pa时，通入氩气，开启偏压电源，偏压幅值调至‑600～﹣800 V，对卡尺进行轰击活化清洗10～30min；（3）轰击活化清洗后通入Ar气至工作气压1 Pa～10‑2Pa，调节溅射电源的电流、电压、试样负偏压等工艺参数，该电源可以是电弧电源或离子溅射电源或者射频溅射电源，沉积时间10~30 min，制备一层纯金属或合金作为过渡层，该过渡层可以是纯钛或纯镍或纯铜或纯钼或纯铬等，合金可以是铁碳合金或钨钼合金或镍铬合金等；（4）过渡层制备结束，通入一定比例的反应气体氮气和氩气，调节溅射电源的电流、电压以及试样偏压，进行40～60分钟的氮化钛沉积。