[发明专利]平板太阳能热水器吸热元件用的选择性吸收膜制备方法

摘要

本发明公开了一种平板太阳能热水器吸热元件用的选择性吸收膜制备方法，包括：A、直流电源溅射Cu靶，在玻璃基板上磁控溅射Cu层；B、交流电源溅射掺钨Al2O3金属陶瓷靶，在所述Cu层上磁控溅射第一Al2O3金属陶瓷层，其中按质量百分比所述Al2O3陶瓷靶中掺30-45%的钨；C、交流电源溅射掺钨Al2O3金属陶瓷靶，在步骤B中所述第一Al2O3金属陶瓷层上磁控溅射第二Al2O3金属陶瓷层，其中按质量百分比所述的Al2O3陶瓷靶中掺10-25%的钨；D、交流电源溅射硅铝合金旋转靶，在步骤C中第二Al2O3金属陶瓷层上磁控溅射SiO2层。本发明的目的提供一种工艺简单，操作方便，生产成本相对较低的平板太阳能热水器吸热元件用的选择性吸收膜制备方法。

主权项

一种平板太阳能热水器吸热元件用的选择性吸收膜制备方法，其特征在于包括以下步骤：A、采用氩气作为反应气体，直流电源溅射Cu靶，在玻璃基板上磁控溅射Cu层；B、采用氩气作为反应气体，交流电源溅射掺钨Al2O3金属陶瓷靶，在步骤A中所述Cu层上磁控溅射第一Al2O3金属陶瓷层，其中按质量百分比所述Al2O3陶瓷靶中掺30‑45%的钨；C、采用氩气作为反应气体，交流电源溅射掺钨Al2O3金属陶瓷靶，在步骤B中所述第一Al2O3金属陶瓷层上磁控溅射第二Al2O3金属陶瓷层，其中按质量百分比所述的Al2O3陶瓷靶中掺10‑25%的钨；D、采用用氧气作为反应气体，氩气作为保护气体，交流电源溅射硅铝合金旋转靶，在步骤C中第二Al2O3金属陶瓷层上磁控溅射SiO2层。