[发明专利]显影剂喷涂装置及方法无效
| 申请号： | 201310567462.7 | 申请日： | 2013-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN103639089A | 公开（公告）日： | 2014-03-19 |
| 发明（设计）人： | 刘刚;张为腾;徐勇 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | B05B15/12 | 分类号： | B05B15/12;B05B13/02;B05B15/04;G03F7/30;B05D5/06 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 李昕巍;吕俊清 |
| 地址： | 201500 上海市金山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本公开提供一种显影剂喷涂装置及方法。显影剂喷涂装置用于向基板喷涂显影剂，该喷涂装置包括：反应腔，用于接收该基板；至少一个喷嘴，位于该反应腔内，用于向该基板喷涂显影剂；回收槽，位于该反应腔之外，用于接收剩余的显影剂；及活动式喷嘴连接装置，位于该喷嘴与回收槽之间，包括：至少一个罩体，其具有进液口；连接管，一端连接于罩体，另一端连接于回收槽；驱动部，用于带动罩体升降；其中，当罩体上升至其进液口与喷嘴对应时，从喷嘴喷出的显影剂经由该连接管进入该回收槽。 | ||
| 搜索关键词： | 显影剂 喷涂 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种显影剂喷涂装置，用于向基板喷涂显影剂，该喷涂装置包括：反应腔，用于接收该基板；至少一个喷嘴，位于该反应腔内，用于向该基板喷涂显影剂；回收槽，位于该反应腔之外，用于接收剩余的显影剂；及活动式喷嘴连接装置，位于该喷嘴与回收槽之间，包括：至少一个罩体，其具有进液口；连接管，一端连接于罩体，另一端连接于回收槽,其中,所述罩体能够于第一位置以及第二位置间作往复式移动；其中，当所述罩体移动至该第二位置時,从喷嘴喷出的显影剂经由该连接管进入该回收槽，当罩体移动至该第一位置时，该罩体离开该喷嘴。
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