[发明专利]多晶硅铸锭炉

摘要

本发明公开了一种能够使铸锭的电阻率均匀分布的多晶硅铸锭炉。通过在多晶硅铸锭炉的进气管的出气口处设置将其密封的挡块，所述挡块上设置有多个旋向相同的螺旋孔，所述多个螺旋孔围绕进气管的中心轴线排列，所述螺旋孔的进口位于挡块的上表面，出口位于挡块的下表面，当氩气经过螺旋孔后，氩气的出气方式被改变，由原来的直吹改为旋转出气，从螺旋孔旋转喷出的氩气会带动坩埚内的硅液旋转，从而使硅液中含有的杂质在硅溶液中得到充分扩散，使液相成分分布均匀，保证铸锭的电阻率分布均匀，而且坩埚内的硅液被搅动，可以促使硅液中含有的可挥发杂质尽快挥发，从而保证铸锭本身的质量和性能。适合在多晶硅生产设备领域推广应用。

主权项

多晶硅铸锭炉，包括炉体（1），炉体（1）上设置有抽气孔（2），所述炉体（1）内设置有下托保温板（3）与保温罩（4），保温罩（4）放置在下托保温板（3）上，保温罩（4）与下托保温板（3）共同构成保温隔热笼，所述保温罩（4）上连接有能够使保温罩（4）上下移动的升降杆（5），所述保温隔热笼内设置有坩埚（6）、坩埚护板（7）、石墨底板（8）、石墨盖板（9）、侧部加热器（10）、顶部加热器（11）、热交换平台（12），所述石墨底板（8）放置在热交换平台（12）上，坩埚（6）放置在石墨底板（8）上，坩埚护板（7）设置在坩埚（6）外侧，侧部加热器（10）设置在坩埚护板（7）的外侧，石墨盖板（9）设置在坩埚（6）上方，顶部加热器（11）设置在石墨盖板（9）上方，所述热交换平台（12）通过石墨立柱（22）固定在炉体（1）底部，坩埚护板（7）的上端设置有尾气排放孔（13），还包括进气管（14），所述进气管（14）依次穿过炉体（1）、保温罩（4）、顶部加热器（11）、石墨盖板（9）后伸入坩埚（6）内，其特征在于：所述进气管（14）的出气口处设置有将其密封的挡块（15），所述挡块（15）上设置有多个旋向相同的螺旋孔（16），所述多个螺旋孔（16）围绕进气管（14）的中心轴线排列，所述螺旋孔（16）的进口位于挡块（15）的上表面，出口位于挡块（15）的下表面。