[发明专利]用可调谐激光吸收光谱的气相H2O2浓度的测量方法及装置

摘要

本发明公开了一种用可调谐激光吸收光谱的气相H2O2浓度的测量方法及装置。以近红外可调谐激光器作为光源，激光通过被测环境中；对激光器输出波长进行扫描调制，使输出波长经过气相过氧化氢的吸收峰；经光电探测器接收转换为电信号；输入到锁相放大器中，提取出电信号的二次谐波作为输出；根据气相过氧化氢浓度与二次谐波峰值的线性关系，得到气相过氧化氢浓度。温度及电流控制模块与激光器连接，激光经被测环境后由光电探测器接收，电信号经锁相放大器传输到数据处理模块中。本发明测量速度快，测量灵敏度高，装置体积小；可适应高粉尘，强腐蚀性的被测气体环境；同时系统响应速度快，实时性很好，能够进行气相过氧化氢浓度的在线监测。

主权项

一种用可调谐激光吸收光谱的气相H2O2浓度的测量方法，其特征在于该方法的步骤如下：1）以近红外可调谐激光器作为光源，激光通过充有气相过氧化氢的被测环境中；2）对激光器的输出波长进行扫描调制，使输出波长经过气相过氧化氢的吸收峰；3）由步骤2）得到的该输出波长下的激光经光电探测器接收转换为电信号；4）由步骤3）得到的电信号输入到锁相放大器中，提取出电信号的二次谐波作为输出；5）根据气相过氧化氢浓度与二次谐波峰值的线性关系，得到气相过氧化氢的浓度。