[发明专利]用于光刻胶的热致酸生成剂在审
| 申请号： | 201310532695.3 | 申请日： | 2013-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN103792787A | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | G·P·普罗科普维茨;G·珀勒斯;刘骢;C·吴;C-B·徐 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/039;G03F7/038;G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 胡嘉倩 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了新的光刻胶组合物，其包含一种组分，该组分包含热致酸生成剂和遏制剂。本发明优选的光刻胶可以包含：具有对光致酸不稳定的基团的树脂；光致酸生成剂化合物；以及至少一种热致酸生成剂和至少一种遏制剂，所述遏制剂用来改进线宽粗糙度和光刻速度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光刻 热致酸 生成 | ||
【主权项】：
一种光致抗蚀剂组合物，其包含：(a)树脂;(b)光致酸生成剂;(c)热致酸生成剂;以及(d)碱性组分，该碱性组分的含量相对于所述热致酸生成剂是当量过量的。
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