[发明专利]一种调控椭偏仪温度场的装置及方法

摘要

一种调控椭偏仪温度场的装置及方法，待测试样品固定于变温台的样品室内，变温台通过绝热转接板固定于可调节样品台上，变温台与可调节样品台完全置于柔性密封装置内；变温台采用传导式导热设计，样品室窗口无介质材料，避免了椭偏光额外的振幅和相位变化。样品室旋盖采用螺纹结构，既可以使不同尺寸的样品以固定样品室，保证良好导热效，又可以与变温台保持相对固定，变温台通过绝热转接板固定于可调节样品台之上，保证了样品在三维空间内的定位精度。温过程中，可通过可调节样品台二次微调样品空间位置，使光路准直、信号强度达到最大，本发明实现了不同尺寸样品、不同气氛中，-190至500℃连续变温环境下，装置结构精巧，操作方便。

主权项

一种调控椭偏仪温度场的装置，其特征在于，由变温台（5）、柔性密封装置（7）、绝热转接板（4）及温度控制系统（20）组成，待测试样品（6）固定于变温台（5）的样品室（22）内，变温台（5）通过绝热转接板（4）固定于可调节样品台（9）之上，变温测试时，变温台（5）与可调节样品台（9）完全置于柔性密封装置（7）内； 所述的变温台（5）采用传导式导热设计，样品室（22）位于制冷单元（21）与加热单元（13）之间，样品室（22）采用嵌入式舱体设计，样品室（22）设置有旋盖（10），旋盖（10）中心位置预留无介质孔洞窗口(11)，样品室(22)上方的制冷单元（21）采用内嵌通道式封闭夹层设计，样品室（22）下方的加热单元(13)由发热体(14)与中心传热体（15）组成，发热体（14）外包覆耐热绝缘涂层，样品室（22）的侧面预留插孔插有热电偶（12）； 所述的温度控制系统（20）包括与热电偶（12）相连接的温控仪（18），温控仪（18）另外与低温电磁阀（16）控制端及可控硅执行器（19）控制端相连，低温电磁阀（16）两个机械端口分别连接制冷单元（21）和自增压液氮罐（17）。