[发明专利]成膜装置及成膜方法

摘要

本发明涉及一种成膜装置，其包括收容治具、固定治具及紫外光固化部。所述收容治具为采用透明材质制作形成，所述收容治具内形成有至少一个容置槽，所述容置槽用于收容待成膜零件，所述容置槽的尺寸大于所述待成膜零件的尺寸。所述固定治具用于吸附待成膜零件置于所述容置槽内，所述至少一个待成膜零件与所述至少一个容置槽的槽壁间形成间隙。所述紫外光固化部用于向所述间隙提供紫外光线从而光固化所述间隙内的紫外光固化胶水。本发明还涉及一种利用上述成膜装置的成膜方法。

主权项

一种成膜装置，包括：收容治具，所述收容治具为采用透明材质制作形成，所述收容治具内形成有至少一个容置槽，所述至少一个容置槽用于收容待成膜零件，所述至少一个容置槽的尺寸大于所述待成膜零件的尺寸；固定治具，所述固定治具用于吸附所述待成膜零件置于所述至少一个容置槽内，所述至少一个待成膜零件与所述至少一个容置槽的槽壁间形成间隙；以及紫外光固化部，所述紫外光固化部用于向所述间隙提供紫外光线从而光固化在所述间隙内的紫外光固化胶水。