[发明专利]SECS/GEM消息交换设备和方法有效
| 申请号： | 201310505310.4 | 申请日： | 2013-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN103607340B | 公开（公告）日： | 2017-05-17 |
| 发明（设计）人： | 陈智文;杨习刚 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H04L12/58 | 分类号： | H04L12/58;H04L29/08;G05B19/418 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体制造过程中的自动化控制技术领域，具体地说是一种SECS/GEM消息交换设备，应用于半导体设备与主机之间的通信中，其中，包括配置文件管理器，设备端SECS/GEM驱动器，设备消息缓存器，主机端SECS/GEM驱动器，主机消息缓存器和转发器。本发明还涉及一种SECS/GEM消息交换方法。采用本发明的设备和方法，可以实现一台半导体设备连接多个主机，使一台半导体设备可以同时与多个主机同时通信，增加了消息交换的速度，提高了生产效率；在有多个上层系统的情况下可以有效解耦，使得各上层系统耦合度最低，便于系统维护；降低了EAP系统的压力，同时也缩短了上层系统在数据接收时的延迟。 | ||
| 搜索关键词： | secs gem 消息 交换 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种SECS(Semiconductor Equipment Communication Standard，半导体设备通讯标准)/GEM(Generic Equipment Model，通用设备模型)消息交换设备，应用于半导体设备与主机之间的通信中，其特征在于，包括：配置文件管理器，用于设定所述半导体设备与所述主机之间进行消息交换的配置文件；设备端SECS/GEM驱动器，用于在所述半导体设备发送设备消息时，对所述设备消息进行编码、发送；或者用于对转发后的已编码主机消息进行解码，并将已解码主机消息发送到所述半导体设备；设备消息缓存器，用于在发送已编码设备消息时，将已编码设备消息进行缓存排序；主机端SECS/GEM驱动器，用于在所述主机发送主机消息时，对所述主机消息进行编码、发送；或者用于对转发后的已编码设备消息进行解码，并将已解码设备消息发送到所述主机；主机消息缓存器，用于对转发后的已编码设备消息进行缓存排序；转发器，用于根据所述配置文件对发送后的已编码设备消息进行转发；或者用于根据所述配置文件对发送后的已编码主机消息进行转发。
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