[发明专利]一种太阳能电池激光背电极窗口开窗终点判断方法

摘要

本发明涉及一种太阳能电池激光背电极窗口开窗终点判断方法，利用相同波长和频率的激光对电池片背面进行连续的多次刻蚀，最终得到的电池片背面形成阶梯状结构，分别测量各台阶面下的电池表面电阻率，最终得到激光开窗终点与激光减薄次数的对应关系，从而找到刻除背面钝化层所需的减薄激光重复次数。与传统方法相比较，本发明对背钝化层的减薄采用连续进行的方式，同样的，测量表面电阻率也采用连续进行的方式，这样就大大缩短了检测时间，提高了生产效率；并且最终刻蚀后得到样品能够完整的保留每次刻蚀后的状态信息。本发明的开窗终点判断方法简单易行，成本低，而且精度较高。

主权项

一种太阳能电池激光背电极窗口开窗终点判断方法，包括如下步骤：第1步、从同一批次的电池片中选取一个电池片作为样品，电池片样品的背面淀积有厚度均匀的背钝化层，所述背钝化层为二氧化硅层或氮化硅层中的一种；第2步、利用相同波长和脉冲频率的脉冲型激光对电池片样品的背面进行N次刻蚀，第1次刻蚀的面积为N*A，第2次刻蚀的面积为（N‑1）*A，以此类推，第N次刻蚀的面积为A，第i次刻蚀的区域在第i‑1次刻蚀的区域范围内，其中，i=2,3，…， N；第3步、利用四探针测量经受j次激光刻蚀后的该区域电池片背面的表面电阻率，并进行记录，其中，j=1,2，…，N；本步骤中四探针测量电池片背面表面电阻率时，探针需刺穿背钝化层达到电池表面进行测试；第4步、从电池片经受刻蚀次数由少至多进行观察，缓慢增加的硅片表面电阻率突然变大处所对应的硅片减薄深度即为电池片背钝化层的厚度，即为该批次电池片背部的激光开窗深度，设硅片表面电阻率突然变大处硅片经受了X次激光刻蚀，则利用与步骤2中相同波长和脉冲频率的脉冲型激光对该批次电池片背面进行X次刻蚀完成背部开窗。