[发明专利]晶棒的抛光处理方法无效
| 申请号： | 201310477542.3 | 申请日： | 2013-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN103522149A | 公开（公告）日： | 2014-01-22 |
| 发明（设计）人： | 刘耀峰;潘振东 | 申请（专利权）人： | 无锡荣能半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B21/02 | 分类号： | B24B21/02 |
| 代理公司： | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人： | 高玉滨 |
| 地址： | 214183 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了晶棒的抛光处理方法，包括：第一步，将晶棒浸泡在水中，保持至少5分钟；第二步，将晶棒取出，并将晶棒的两端固定在旋转加工工作台上；第三步，旋转晶棒，并且利用宽度5cm左右的粗砂布，沿着晶棒的一端向另一端以20cm/s的速度往复移动，进行第一次打磨；第四步，旋转晶棒，并且利用宽度10cm左右的细砂布，沿着晶棒的一端向另一端以25cm/s的速度往复移动，进行第二次打磨；第五步，旋转晶棒，并且利用宽度10cm左右的沾水细砂布，沿着晶棒的一端向另一端以15cm/s的速度往复移动，进行第三次打磨；第六步，风干。通过上述技术方案晶棒的抛光处理方法，可以大大降低晶棒的磨损程度，节省晶棒的材料。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 处理 方法 | ||
【主权项】：
晶棒的抛光处理方法，包括：第一步，将晶棒浸泡在水中，保持至少5分钟；第二步，将晶棒取出，并将晶棒的两端固定在旋转加工工作台上；第三步，旋转晶棒，并且利用宽度5cm左右的粗砂布，沿着晶棒的一端向另一端以20cm/s的速度往复移动，进行第一次打磨；第四步，旋转晶棒，并且利用宽度10cm左右的细砂布，沿着晶棒的一端向另一端以25cm/s的速度往复移动，进行第二次打磨；第五步，旋转晶棒，并且利用宽度10cm左右的沾水细砂布，沿着晶棒的一端向另一端以15cm/s的速度往复移动，进行第三次打磨；第六步，风干。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡荣能半导体材料有限公司，未经无锡荣能半导体材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310477542.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种多功能自卸车
- 下一篇：一种轻型的双层汽车脚垫
