[发明专利]MCP单元、MCP检测器和飞行时间型质谱分析器

摘要

本发明的MCP单元具有具备不依赖于MCP的通道直径所引起的限制而实现所期望的时间响应特性的构造的三极管构造，具备MCP群、第1电极、第2电极、阳极、以及加速电极。特别地，该MCP单元具备配置在加速电极与阳极之间的环型构件作为将响应于来自MCP群的二次电子的入射而从阳极放出的反射电子局限在加速电极与阳极之间的空间的限制构造。

主权项

一种具有三极管构造的MCP单元，其特征在于，具备：微通道板，是配置在与该MCP单元的中心轴交叉的平面上的、响应于沿着所述中心轴移动的荷电粒子的入射而放出在内部被倍增的二次电子的微通道板，具有该荷电粒子被入射的入射面、以及与该入射面相对并且将该二次电子出射的出射面；第1电极，是接触于所述微通道板的入射面的第1电极，并设定为第1电位；第2电极，是接触于所述微通道板的出射面的第2电极，并设定为比所述第1电位高的第2电位；阳极，是在与所述中心轴交叉的状态下配置在从所述微通道板的出射面放出的二次电子到达的位置的阳极，设定为比所述第2电位高的第3电位；加速电极，是配置在所述微通道板与所述阳极之间的加速电极，设定为比所述第2电位高的第4电位，并且具有用于使从所述微通道板的出射面朝向所述阳极的二次电子通过的多个开口；绝缘体，配置于所述第2电极与所述加速电极之间；以及环型构件，配置在所述加速电极与所述阳极之间，并且具有与所述绝缘体不同的构造且由绝缘材料构成，所述绝缘材料的环型构件是用于实现使所述加速电极的电位和所述阳极的电位独立而进行控制的构造的构件，并具有：与所述加速电极接触的第1面；与所述第1 面相对并与所述阳极接触的第2面；以及以连接所述第1面与所述第2面的方式沿所述中心轴延伸的贯通孔，所述贯通孔以将响应于来自所述微通道板的二次电子的入射而从所述阳极放出的反射电子局限在所述加速电极与所述阳极之间的空间内的方式，由以使从所述加速电极朝向所述阳极的二次电子通过的方式围绕所述中心轴的连续面规定。