[发明专利]干涉显微物镜光学系统有效
| 申请号： | 201310468484.8 | 申请日： | 2013-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN103792648A | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 徐静浩;步扬;王向朝 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B15/177 | 分类号： | G02B15/177;G02B21/02 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种干涉显微物镜光学系统，包括第一透镜组，第二透镜组，第三透镜组，第四透镜组，孔径光阑，第五透镜组，第六透镜组，参考面基板组，分光束平片组沿光轴自左向右顺序排列，第一透镜组至分光束平片组构成系统的物镜组E1；所述的第二透镜组的焦距为fS2，第三透镜组的焦距为fS3，物镜组的焦距为fE1，三者满足下列关系式：1.2<|fS3/fS2|<1.8，3<|fS1/fE1|<4，本发明干涉显微物镜在可见光波段范围内具有工作距离长，数值孔径大，畸变比较小的特点，系统成像质量接近衍射极限。 | ||
| 搜索关键词： | 干涉 显微 物镜 光学系统 | ||
【主权项】：
一种干涉显微物镜光学系统，沿光轴自左向右依次包括第一透镜组（S1）、第二透镜组（S2）、第三透镜组（S3）、第四透镜组（S4）、孔径光阑（U1）、第五透镜组（S5）、第六透镜组（S6）、参考面基板组（S7）和分光束平片组（S8），所述第一透镜组至分光束平片组构成系统的物镜组（E1），其特征在于：所述的第二透镜组（S2）的焦距为fS2，第三透镜组（S3）的焦距为fS3，物镜组的焦距为fE1，三者满足下列关系式：1.2<|fS3/fS2|<1.8，3<|fS1/fE1|<4。
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