[发明专利]一种靶材复合烧结炉

摘要

本发明公开了一种靶材复合烧结炉，主要由机械框架、耐材炉膛、承烧平台等组成。要解决的技术问题是：产品内外受热不均，炉膛开裂、塌顶、掉渣等现象，其技术要点是：机械框架主体采用A3型钢和板材焊接而成，方型双层水冷结构，顶部承压设计、中间法兰连接，液压承烧平台由液压动力单元和承烧台组成，通过液压油缸驱动承烧台上升和下降，耐材炉膛选用多层不同规格的微波专用耐材拼装而成，内部预埋陶瓷螺栓，陶瓷压板通过固定在炉膛内部的螺杆铆固压紧，硅钼棒四周吊挂布置，测温热偶从顶部伸入炉膛，微波辅助加热的多组磁控管均匀分布在炉膛顶部，本发明具有控温精度高、温度均匀、能耗低、运行可靠、操作简便等特点。

主权项

一种靶材复合烧结炉，主要由机械框架(1)、耐材炉膛(2)、承烧平台(3)等组成。其特征在于：所述的机械框架(1)为落地式外密封结构，上部用于固定耐材炉膛(2)，下部用于固定液压承烧台(3)，耐材炉膛(2)顶部(4)与法兰(5)连接，连接处增加微波密封，液压承烧平台(3)由液压动力单元(7)和承烧台(8)组成，承烧台(8)下设计有支撑结构(9)，液压动力单元(7)驱动承烧台(8)上升和下降，耐材炉膛(2)四周吊挂布置硅钼棒(12)，测温热偶(13)从耐材炉膛(2)顶部(4)伸入耐材炉膛(2)，多组磁控管(15)均匀分布在耐材炉膛(2)顶部(4)，实现微波辅助加热，炉膛(2)侧面中心位置设置有红外测温仪(17)，真空泵(14)预抽真空，实现炉膛内气氛的快速置换。