[发明专利]带有电磁合轴装置的电子枪在审
| 申请号： | 201310460591.6 | 申请日： | 2013-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN103474308A | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 韦寿祺;朱国坤;黄小东 | 申请（专利权）人： | 桂林狮达机电技术工程有限公司 |
| 主分类号： | H01J3/02 | 分类号： | H01J3/02;H01J1/50 |
| 代理公司： | 桂林市持衡专利商标事务所有限公司 45107 | 代理人： | 陈跃琳 |
| 地址： | 541004 广西壮族自治*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明公开一种带有电磁合轴装置的电子枪，阴极产生的电子束依次经过聚束极、阳极、聚焦装置和偏转扫描装置后汇聚到工件上；在电子束飞行路径上的阳极与聚焦装置之间设置有电磁合轴装置；该电磁合轴装置的聚焦绕组与供电电源相连，通电后聚焦绕组产生平行于电子束飞行参考方向的磁场；偏转绕组包括X、Y两组绕组，X、Y两组绕组各与一独立的供电电源相连，通电后X、Y两组绕组产生垂直于电子束飞行参考方向的磁场。依靠分别调节X、Y两组偏转绕组电流的大小，就可以方便灵活地调节偏转磁场在垂直于电子束飞行参考方向平面上的矢量。本发明能够让从阳极飞出的电子束汇聚在聚焦装置入口的中心，从而提高电子束的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 电磁 装置 电子枪 | ||
【主权项】：
带有电磁合轴装置的电子枪，包括依次呈同轴对中布设的阴极（1）、聚束极（2）、阳极（3）、聚焦装置（5）和偏转扫描装置（6）；阴极（1）产生的电子束（7）依次经过聚束极（2）、阳极（3）、聚焦装置（5）和偏转扫描装置（6）后汇聚到工件（8）上；其特征在于：在电子束（7）飞行路径上的阳极（3）与聚焦装置（5）之间设置有电磁合轴装置（4）；该电磁合轴装置（4）主要由铁甲（4‑1）、以及设置在铁甲（4‑1）内的聚焦磁场磁隙（4‑3）、聚焦绕组（4‑2）和偏转绕组（4‑4）组成；铁甲（4‑1）的中部留有供电子束（7）通过的电子束（7）通道；聚焦磁场磁隙（4‑3）朝向电子束（7）通道；聚焦绕组（4‑2）与供电电源相连，通电后聚焦绕组（4‑2）产生平行于电子束（7）飞行参考方向的磁场；偏转绕组（4‑4）包括X、Y两组绕组，X、Y两组绕组各与一独立的供电电源相连，通电后X、Y两组绕组产生垂直于电子束（7）飞行参考方向的磁场。
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