[发明专利]一种大角度旋转的大行程磁浮运动平台

摘要

一种大角度旋转的大行程磁浮运动平台，主要应用于半导体加工制造和检测设备中。该运动平台含有动子、定子、基座和测量系统组成，动子采用二维永磁阵列，定子的线圈阵列采用空心圆柱型线圈；利用三轴陀螺仪、三轴加速度计和电涡流传感器实现六自由度粗测量，利用激光干涉仪进行动子位置的精测量。位于动子上的测量装置信号经数据处理电路，利用无线发射装置传送到控制机，并通过无线接收装置接收控制器指令。与现有技术相比，该磁浮运动平台能能够实现动子绕Z轴的大角度转动，同时也能够实现平面内的大行程运动；采用无线传输技术和无线缆设计，提高了系统抗干扰能力。

主权项

一种大角度旋转的大行程磁浮运动平台，含有基座（1）、动子、定子、载片台（8）和测量系统，所述的动子含有永磁体阵列（5）和磁钢背板（16）；所述的定子含有由多个线圈排列成的线圈阵列（2）；所述的测量系统含有电涡流传感器(6)和激光干涉仪，其特征在于：所述的线圈阵列（2）中每个线圈采用空心圆柱型线圈（14），并通过线圈骨架（15）固定在基座（1）上；所述的测量系统还包含一个三轴陀螺仪（9）和一个三轴加速度计（10），该三轴陀螺仪（9）和三轴加速度计（10）安装在集成电路板（7）上，所述的集成电路板（7）固定在动子上；所述的三轴陀螺仪（9）和三轴加速度计（10）的测量信号经处理电路处理之后，利用无线发射装置（11）发送给控制机，并通过无线接收装置（12）接收控制机的指令，对三轴陀螺仪（9）和三轴加速度计（10）进行复位或清零；所述的集成电路板（7）利用一块电池（13）作为测量传感器的供电电源。