[发明专利]一种黑色装饰薄膜材料及其制备方法有效
申请号: | 201310451156.7 | 申请日: | 2013-09-29 |
公开(公告)号: | CN103526170A | 公开(公告)日: | 2014-01-22 |
发明(设计)人: | 李伟;张笑 | 申请(专利权)人: | 上海理工大学;上海仟纳真空镀膜科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/06 |
代理公司: | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人: | 吴宝根 |
地址: | 200093 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种黑色装饰薄膜材料及其制备方法。所述的黑色装饰薄膜材料即通过磁控溅射法在基体的表面镀有一层氮化锰薄膜,其厚度为200-300nm;所述的基体为不锈钢、硬质合金或石英等。其制备方法,包括基体的预处理、反溅射清洗基体、采用磁控溅射法制备氮化锰薄膜等3个步骤。该方法制备出的黑色装饰薄膜具有较高的热稳定性、化学稳定性,同时具有生产成本低、对环境无污染等特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 黑色 装饰 薄膜 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种黑色装饰薄膜材料,其特征在于所述的黑色装饰薄膜材料为通过磁控溅射法在基体的表面镀有的一层黑色氮化锰薄膜,其厚度为200‑300nm;所述的基体为不锈钢、硬质合金或石英。
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