[发明专利]增强照明数值孔径超分辨光刻成像设备及光刻成像方法有效
| 申请号： | 201310439950.X | 申请日： | 2013-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN103472689A | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 罗先刚;王长涛;赵泽宇;王彦钦;胡承刚;蒲明薄;李雄;黄成;何家玉;罗云飞 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 倪斌 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 提供了增强照明数值孔径超分辨光刻成像设备及光刻成像方法。一示例光刻成像设备可以包括照明光束产生装置，配置为产生照明光束，该照明光束具有数值孔径NA>0的照明场。照明光束可以通过掩模和成像层，将掩模图形成像在感光层空间。 | ||
| 搜索关键词： | 增强 照明 数值孔径 分辨 光刻 成像 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种光刻成像设备，包括：照明光束产生装置，配置为产生照明光束，该照明光束具有数值孔径NA>0的照明场，其中，照明光束通过掩模和成像层，将掩模图形成像在感光层空间。
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