[发明专利]一种低温等离子体处理装置及方法有效
| 申请号： | 201310439012.X | 申请日： | 2013-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN103458599A | 公开（公告）日： | 2013-12-18 |
| 发明（设计）人： | 何祝兵;王春柱;苏奇聪 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | H05H1/00 | 分类号： | H05H1/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 518000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种低温等离子体处理装置及方法，其中，一种等离子体处理装置包括：进行等离子体反应的反应室，所述反应室内侧设置有第一电极板和第二电极板，所述第一电极板与所述反应室外壳绝缘，所述第二电极板与所述反应室外壳一起接地；所述反应室设置有进气口，反应室与第一电极板之间设有气体分配器，工作气体通过所述进气口经过所述气体分配器进入所述反应室，所述反应室的两侧设置有反应后气体的出气口；至少两个射频源通过相应的射频源匹配网络，利用馈入元件与第一电极板上的射频馈入点连接，所述第一电极板上的射频馈入点至少为两个。采用本发明，减少驻波和趋肤效应，实现解耦，独立控制等离子体的密度和鞘层电压，简化了传统的射频馈入结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低温 等离子体 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种低温等离子体处理装置，其特征在于，包括：进行等离子体反应的反应室，所述反应室内侧设置有第一电极板和第二电极板，所述第一电极板与所述反应室外壳绝缘，所述第二电极板与所述反应室外壳一起接地；所述反应室设置有进气口，所述反应室与所述第一电极板之间设有气体分配器，工作气体通过所述进气口经过所述气体分配器进入所述反应室，所述反应室的两侧设置有反应后气体的出气口；至少两个射频源分别通过相应的射频源匹配网络，利用馈入元件与所述第一电极板上的射频馈入点连接，其中所述第一电极板上的射频馈入点至少为两个。
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