[发明专利]一种投影光学系统有效
| 申请号： | 201310428635.7 | 申请日： | 2013-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN103472586A | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 冉英华;邢廷文;林妩媚;吕保斌;陈红丽;张海波;白瑜 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G02B27/18 | 分类号： | G02B27/18;G02B27/00;G02B7/04;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 梁爱荣 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种投影光学系统，用于将物面的图像成像到像面。该系统沿光轴方向依次安置第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组，四个透镜组处于同一光轴。第一透镜组具有负光焦度，第二透镜组具有正光焦度，第三透镜组具有负光焦度，第四透镜组具有正光焦度。本发明的投影光学系统既能有效地减小系统共轭距和减少镜片数量、降低系统的加工、检测、装调成本，同时也能提供较大的物方和像方工作距，满足高分辨率和高像质要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 投影 光学系统 | ||
【主权项】：
一种投影光学系统，其特征在于：用于将物面内的图案投射到像平面上，沿投影光学系统光轴方向安置有第一透镜组(G1)、第二透镜组(G2)、第三透镜组(G3)、第四透镜组(G4)，并且第一透镜组(G1)、第二透镜组(G2)、第三透镜组(G3)和第四透镜组(G4)处于同一光轴，从光束入射方向顺序第一透镜组(G1)具有负光焦度、第二透镜组(G2)具有正光焦度、第三透镜组(G3)具有负光焦度、第四透镜组(G4)具有正光焦度。
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