[发明专利]同步装置、扫描式激光成像系统及同步方法无效
申请号: | 201310419259.5 | 申请日: | 2013-09-13 |
公开(公告)号: | CN103472685A | 公开(公告)日: | 2013-12-25 |
发明(设计)人: | 俞庆平;谢荣先;胡传武;张寅;张国龙 | 申请(专利权)人: | 苏州微影光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 张家港市高松专利事务所(普通合伙) 32209 | 代理人: | 孙高 |
地址: | 215636 江苏省苏州市张*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种同步装置、扫描式激光成像系统及同步方法,其中,所述同步装置包括:定位模块、所述定位模块包括平台控制器和定位平台,所述定位平台包括同步轴、步进轴及升降轴;同步模块、所述同步模块接收所述平台控制器输入的位置脉冲信号,并对所述位置脉冲信号加以处理以输出同步信号,所述同步模块还接收所述控制模块的控制命令;以及控制模块、所述控制模块与所述定位模块及所述同步模块相连接,以控制所述同步模块及所述平台控制器。通过采用同步信号触发方式,有效补偿系统的脉冲误差和脉冲残差,提高扫描图像的绝过位置精度,减少图像大小误差。 | ||
搜索关键词: | 同步 装置 扫描 激光 成像 系统 方法 | ||
【主权项】:
一种应用于扫描式激光成像系统的同步装置,其特征在于,所述同步装置包括:定位模块、所述定位模块包括平台控制器和定位平台,所述定位平台包括同步轴、步进轴及升降轴,所述同步轴负责产生位置脉冲,所述平台控制器控制各轴的移动和状态输出,所述平台控制器将同步轴在移动时产生的位置脉冲向外输出;同步模块、所述同步模块接收所述平台控制器输入的位置脉冲信号,并对所述位置脉冲信号加以处理以输出同步信号,所述同步模块还接收所述控制模块的控制命令;以及控制模块、所述控制模块与所述定位模块及所述同步模块相连接,以控制所述同步模块及所述平台控制器。
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